系統管路日常維護

（1）管路及管線的維護：一般來說管路是免維護的，在出現意外情況時需配用專用的管材及工具進行維護，主要檢查活節的泄漏問題，日常檢查設備管路以及接頭有無滴漏的地方，保證設備的干凈整潔，定期清洗或更換過濾器濾芯。

（2）電氣控制的維護：不定時檢查接插件接線端子接線有無松落的地方，繼電器有無接觸不好的地方，各閥儀表的接插件有無接觸不好，保證信號的可靠輸入與輸出。

（3）系統的維護：每半年檢查系統的真空度、流量等參數使之最優化。

（4）真空泵維護：每天經常檢查真空泵油，保證油位接近MAX處，如果油位低于MIN刻度線，必須馬上停止泵運行并檢查真空泵，確保泵無異常方可使用。真空泵初次運行150h必須更換真空泵油，以后視工作環境而定，但必須保證更換周期在500－1500h范圍內，如果環境比較差更換頻率相應高一些，如環境優良，更換頻率可以相應低一些。（具體見真空泵使用說明書）。

     SV系列真空泵油型號：萊寶專用真空泵油LVO130

     D40系列真空泵油型號：LVO108

     注意：真空泵油必須使用Leybold 公司專用真空泵油，否則會影響真空泵的使用，甚至損壞真空泵。如使用市場上的其他型號油而造成真空泵損壞由客戶自己承擔。

7.2 系統維修：

（1） 流體控制回路的維修：流體回路中各流體閥都可手動打開，維修中如果想讓某個閥動作，手動按下電磁閥上的白色小點即可，可對相應的管路進行檢查與維修，注意電磁閥手動操作必須斷開電源。

（2） 電氣回路的維修：整個系統的邏輯控制都處在PLC的控制中，查看梯形圖明白邏輯關系其后，在“PLC”上觀察各輸入輸出狀態，確定是內部邏輯錯誤，還是外部接線及閥或者它執行元件的問題，維修過程可參看系統原理圖及電氣控制圖。